位置決め精度測定
Measurement of Positioning accuracy
工作機械やリニアガイド、大型部品にとって重要な位置決め精度を測定します。
測定に用いるレーザー干渉計は、英国国内規格NPL等にトレーサブルな校正がされています。
測定対象例
工作機械や三次元測定機
※大型装置の測定は出張測定作業や機材貸出によるユーザによる測定も可能です。
測定内容
●位置決め精度
位置決め動作を行った際の、目標点と実際の停止位置との差の絶対値
＜測定手法＞
計測する機械のコントロールにより移動した位置とレーザーにより計測された位置を比較して、軸の位置決め精度を計測
使用する測定器
| 装置名称 | XL-80 レニショー製レーザー干渉計 |
| 位置決め計測 範囲 |
0m ～ 80m * 標準 0m ～ 40m300 mm |
| 測定精度 | ±0.5ppm |
| 分解能 | 0.001mμ.005秒 |
| 最大移動速度 | 4m/s *1.6 m/s（分解能80 nm 矩形波）、0.2 m/s（分解能10 nm 矩形波） |
| 動的取得速度 | 10Hz～50kHz *矩形波モードで 20 MHz |
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